The science and engineering of microelectronic fabrication / Stephen A. Campbell
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| Autore: |
Campbell, Stephen A.
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| Titolo: |
The science and engineering of microelectronic fabrication / Stephen A. Campbell
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| Pubblicazione: | New York ; Oxford : Oxford University Press, 1996 |
| Descrizione fisica: | xv, 536 p. : ill ; 24 cm |
| Disciplina: | 621.38152 |
| Soggetto topico: | Semiconduttori - Tecnologia |
| ISBN: | 0195105087 |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 991003066799707536 |
| Lo trovi qui: | Univ. del Salento |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |
Serie:
The oxford series in electrical engineering