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1. |
Record Nr. |
UNISALENTO991003066799707536 |
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Autore |
Campbell, Stephen A. |
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Titolo |
The science and engineering of microelectronic fabrication / Stephen A. Campbell |
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Pubbl/distr/stampa |
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New York ; Oxford : Oxford University Press, 1996 |
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ISBN |
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Descrizione fisica |
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Collana |
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The oxford series in electrical engineering |
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Disciplina |
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Soggetti |
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Semiconduttori - Tecnologia |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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