Surface analysis of reactive ion etched PZT thin films in SF6 plasma [[electronic resource] /] / Eugene Zakar
(Visualizza in formato marc)
(Visualizza in BIBFRAME)
| Autore: |
Zakar Eugene
|
| Titolo: |
Surface analysis of reactive ion etched PZT thin films in SF6 plasma [[electronic resource] /] / Eugene Zakar
|
| Pubblicazione: | Adelphi, MD : , : Army Research Laboratory, , [2007] |
| Descrizione fisica: | 1 online resource (iv, 10 pages) : illustrations |
| Soggetto topico: | Surfaces (Technology) - Analysis |
| Thin films | |
| Piezoelectricity | |
| Note generali: | Title from title screen (viewed on Feb. 23, 2012). |
| "September 2007." | |
| Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references (pages 8-9). |
| Titolo autorizzato: | Surface analysis of reactive ion etched PZT thin films in SF6 plasma |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910701473803321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |