Optimization of PbTiO₃ seed layers for PZT MEMS actuators [[electronic resource] /] / Luz Sanchez and Ronald G. Polcawich
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| Autore: |
Sanchez Luz
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| Titolo: |
Optimization of PbTiO₃ seed layers for PZT MEMS actuators [[electronic resource] /] / Luz Sanchez and Ronald G. Polcawich
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| Pubblicazione: | Adelphi, MD : , : Army Research Laboratory, , [2008] |
| Descrizione fisica: | vi, 22 pages : digital, PDF file |
| Soggetto topico: | Ferroelectric crystals |
| Ferroelectric thin films | |
| Altri autori: |
PolcawichRonald G
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| Note generali: | Title from title screen (viewed Feb. 19, 2009). |
| "December 2008." | |
| Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references (page 20). |
| Titolo autorizzato: | Optimization of PbTiO₃ seed layers for PZT MEMS actuators |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910698037403321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |