1.

Record Nr.

UNINA9910698037403321

Autore

Sanchez Luz

Titolo

Optimization of PbTiO₃ seed layers for PZT MEMS actuators [[electronic resource] /] / Luz Sanchez and Ronald G. Polcawich

Pubbl/distr/stampa

Adelphi, MD : , : Army Research Laboratory, , [2008]

Descrizione fisica

vi, 22 pages : digital, PDF file

Collana

ARL-TR ; ; 4697

Altri autori (Persone)

PolcawichRonald G

Soggetti

Ferroelectric crystals

Ferroelectric thin films

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia

Note generali

Title from title screen (viewed Feb. 19, 2009).

"December 2008."

Nota di bibliografia

Includes bibliographical references (page 20).