Loose-particle detection in microelectronic devices / / John S. Hilten; Paul S. Lederer; J. Franklin Mayo-Wells; Carol F. Vezzetti
(Visualizza in formato marc)
(Visualizza in BIBFRAME)
| Autore: |
Hilten John S
|
| Titolo: |
Loose-particle detection in microelectronic devices / / John S. Hilten; Paul S. Lederer; J. Franklin Mayo-Wells; Carol F. Vezzetti
|
| Pubblicazione: | Gaithersburg, MD : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , 1979 |
| Descrizione fisica: | 1 online resource |
| Altri autori: |
HiltenJohn S
LedererPaul S
Mayo-WellsJ. Franklin
VezzettiCarol F
|
| Note generali: | 1979. |
| Contributed record: Metadata reviewed, not verified. Some fields updated by batch processes. | |
| Title from PDF title page. | |
| Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references. |
| Titolo autorizzato: | Loose-particle detection in microelectronic devices |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910709907503321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |