Loose-particle detection in microelectronic devices / / John S. Hilten; Paul S. Lederer; J. Franklin Mayo-Wells; Carol F. Vezzetti

• Record Nr.: UNINA9910709907503321
• Autore: Hilten John S
• Pubbl/distr/stampa: Gaithersburg, MD : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , 1979
• Descrizione fisica: 1 online resource
• Collana: NBSIR ; ; 78-1590
• Altri autori (Persone): HiltenJohn S; LedererPaul S; Mayo-WellsJ. Franklin; VezzettiCarol F
• Lingua di pubblicazione: Inglese
• Formato: Materiale a stampa
• Livello bibliografico: Monografia
• Note generali: 1979.; Contributed record: Metadata reviewed, not verified. Some fields updated by batch processes.; Title from PDF title page.
• Nota di bibliografia: Includes bibliographical references.