Fabrication engineering at the micro- and nanoscale / Stephen A. Campbell
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| Autore: |
Campbell, Stephen A.
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| Titolo: |
Fabrication engineering at the micro- and nanoscale / Stephen A. Campbell
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| Edizione: | Fourth edition |
| Descrizione fisica: | xiv, 671 pages; 24 cm |
| Disciplina: | 621.3815/2 |
| Soggetto topico: | Semiconductors - Design and construction |
| Classificazione: | LC TK7871.85 |
| 621.3.2.4 | |
| Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references and index |
| ISBN: | 9780199861224 |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 991003427979707536 |
| Lo trovi qui: | Univ. del Salento |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |
Serie:
The Oxford series in electrical and computer engineering