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1. |
Record Nr. |
UNISALENTO991003427979707536 |
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Autore |
Campbell, Stephen A. |
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Titolo |
Fabrication engineering at the micro- and nanoscale / Stephen A. Campbell |
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ISBN |
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Edizione |
[Fourth edition] |
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Descrizione fisica |
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Collana |
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The Oxford series in electrical and computer engineering |
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Classificazione |
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Disciplina |
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Soggetti |
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Semiconductors - Design and construction |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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Nota di bibliografia |
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Includes bibliographical references and index |
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