A Framework for standard modular simulation : application to semiconductor wafer fabrication / / Heshan Li [and others]
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| Titolo: |
A Framework for standard modular simulation : application to semiconductor wafer fabrication / / Heshan Li [and others]
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| Pubblicazione: | [Gaithersburg, MD] : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , [2005] |
| Descrizione fisica: | 1 online resource (17 pages) : illustrations |
| Soggetto topico: | Semiconductor wafers - Standards |
| Altri autori: |
FernandezEmmanuel
LeongSwee K
LiHeshan
McLeanCharles R (Charles Robert)
Ramirez-HernandezJose A
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| Note generali: | Contributed record: Metadata reviewed, not verified. Some fields updated by batch processes. |
| Title from page 1, viewed April 6, 2007. | |
| Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references. |
| Altri titoli varianti: | Framework for standard modular simulation |
| Titolo autorizzato: | A Framework for standard modular simulation |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910709941103321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |