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Titolo: | A Framework for standard modular simulation : application to semiconductor wafer fabrication / / Heshan Li [and others] |
Pubblicazione: | [Gaithersburg, MD] : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , [2005] |
Descrizione fisica: | 1 online resource (17 pages) : illustrations |
Soggetto topico: | Semiconductor wafers - Standards |
Altri autori: | FernandezEmmanuel LeongSwee K LiHeshan McLeanCharles R (Charles Robert) Ramirez-HernandezJose A |
Note generali: | Contributed record: Metadata reviewed, not verified. Some fields updated by batch processes. |
Title from page 1, viewed April 6, 2007. | |
Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references. |
Altri titoli varianti: | Framework for standard modular simulation |
Titolo autorizzato: | A Framework for standard modular simulation |
Formato: | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione: | Inglese |
Record Nr.: | 9910709941103321 |
Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
Opac: | Controlla la disponibilità qui |