Vacuum technology, thin films and sputtering : an introduction / R. V. Stuart
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| Autore: |
STUART, R. V.
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| Titolo: |
Vacuum technology, thin films and sputtering : an introduction / R. V. Stuart
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| Pubblicazione: | Orlando [etc.] : Academic Press, copyr. 1983 |
| Descrizione fisica: | VIII, 151 p. : ill. ; 23 cm |
| Disciplina: | 621.55 |
| Soggetto topico: | tecnologia del vuoto |
| Film sottili | |
| Spruzzamento catodico | |
| Titolo autorizzato: | Vacuum technology, thin films and sputtering |
| ISBN: | 0-12-674780-6 |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 990003313810203316 |
| Lo trovi qui: | Univ. di Salerno |
| Collocazione: | 621.55 STU |
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| Biblioteca: | Univ. di Salerno |
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