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Autore: | STUART, R. V. |
Titolo: | Vacuum technology, thin films and sputtering : an introduction / R. V. Stuart |
Pubblicazione: | Orlando [etc.] : Academic Press, copyr. 1983 |
Descrizione fisica: | VIII, 151 p. : ill. ; 23 cm |
Disciplina: | 621.55 |
Soggetto topico: | tecnologia del vuoto |
Film sottili | |
Spruzzamento catodico | |
Titolo autorizzato: | Vacuum technology, thin films and sputtering |
ISBN: | 0-12-674780-6 |
Formato: | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione: | Inglese |
Record Nr.: | 990003313810203316 |
Lo trovi qui: | Univ. di Salerno |
Collocazione: | 621.55 STU |
Opac: | Controlla la disponibilità qui |
Biblioteca: | Univ. di Salerno |
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