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1. |
Record Nr. |
UNISA990003313810203316 |
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Autore |
STUART, R. V. |
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Titolo |
Vacuum technology, thin films and sputtering : an introduction / R. V. Stuart |
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Pubbl/distr/stampa |
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Orlando [etc.] : Academic Press, copyr. 1983 |
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ISBN |
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Descrizione fisica |
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VIII, 151 p. : ill. ; 23 cm |
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Disciplina |
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Soggetti |
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tecnologia del vuoto |
Film sottili |
Spruzzamento catodico |
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Collocazione |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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