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Autore: | Rubloff, G.W. |
Titolo: | Deposition and growth : limits for microelectronics, Anaheim, CA 1987 / editor G.W. Rubloff |
Pubblicazione: | New York : American Institute of physics, 1988 |
Descrizione fisica: | 388, [8] p. : ill. ; 25 cm |
Disciplina: | 621.38152 |
Soggetto topico: | Microelettronica - Semiconduttori - Tecnologia di crescita e deposizione |
ISBN: | 0883183676 |
Formato: | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione: | Inglese |
Record Nr.: | 991000158379707536 |
Lo trovi qui: | Univ. del Salento |
Opac: | Controlla la disponibilità qui |