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1. |
Record Nr. |
UNISALENTO991000158379707536 |
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Autore |
Rubloff, G.W. |
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Titolo |
Deposition and growth : limits for microelectronics, Anaheim, CA 1987 / editor G.W. Rubloff |
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Pubbl/distr/stampa |
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New York : American Institute of physics, 1988 |
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ISBN |
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Descrizione fisica |
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388, [8] p. : ill. ; 25 cm |
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Collana |
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American institute of physics conference proceedings ; 167. American vacuum society series ; 4 |
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Disciplina |
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Soggetti |
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Microelettronica - Semiconduttori - Tecnologia di crescita e deposizione |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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