EMLC 2007 : 23rd European Mask and Lithography Conference : 22-25 January 2007, Grenoble, France
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| Titolo: |
EMLC 2007 : 23rd European Mask and Lithography Conference : 22-25 January 2007, Grenoble, France
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| Pubblicazione: | [Place of publication not identified], : SPIE, 2007 |
| Disciplina: | 621.3815/31 |
| Soggetto topico: | Integrated circuits - Masks |
| Microlithography | |
| Electrical & Computer Engineering | |
| Engineering & Applied Sciences | |
| Electrical Engineering | |
| Persona (resp. second.): | MaurerWilhelm |
| WaelpoelJacques | |
| BehringerUwe F. W | |
| Note generali: | Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph |
| Titolo autorizzato: | EMLC 2007 : 23rd European Mask and Lithography Conference : 22-25 January 2007, Grenoble, France |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 996279650603316 |
| Lo trovi qui: | Univ. di Salerno |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |