A novel vacuum packaging design process for microelectromechanical system (MEMS) quad-mass gyroscopes / / by Rohan Deshmukh, Ryan Knight and Dr William Nothwang
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| Autore: |
Deshmukh Rohan
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| Titolo: |
A novel vacuum packaging design process for microelectromechanical system (MEMS) quad-mass gyroscopes / / by Rohan Deshmukh, Ryan Knight and Dr William Nothwang
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| Pubblicazione: | Adelphi, MD : , : US Army Research Laboratory, , 2016 |
| Descrizione fisica: | 1 online resource (vi, 38 pages) : color illustrations |
| Soggetto topico: | Gyroscopes |
| Hermetic sealing | |
| Persona (resp. second.): | KnightRyan |
| NothwangWilliam | |
| Note generali: | "Sep 2016." |
| Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references (pages 34-35). |
| Altri titoli varianti: | Novel vacuum packaging design process for microelectromechanical system |
| Titolo autorizzato: | A novel vacuum packaging design process for microelectromechanical system (MEMS) quad-mass gyroscopes |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910707715003321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |