|
|
|
|
|
|
|
|
|
1. |
Record Nr. |
UNINA9910707715003321 |
|
|
Autore |
Deshmukh Rohan |
|
|
Titolo |
A novel vacuum packaging design process for microelectromechanical system (MEMS) quad-mass gyroscopes / / by Rohan Deshmukh, Ryan Knight and Dr William Nothwang |
|
|
|
|
|
|
|
Pubbl/distr/stampa |
|
|
Adelphi, MD : , : US Army Research Laboratory, , 2016 |
|
|
|
|
|
|
|
Descrizione fisica |
|
1 online resource (vi, 38 pages) : color illustrations |
|
|
|
|
|
|
Collana |
|
|
|
|
|
|
Soggetti |
|
Gyroscopes |
Hermetic sealing |
|
|
|
|
|
|
|
|
Lingua di pubblicazione |
|
|
|
|
|
|
Formato |
Materiale a stampa |
|
|
|
|
|
Livello bibliografico |
Monografia |
|
|
|
|
|
Note generali |
|
|
|
|
|
|
Nota di bibliografia |
|
Includes bibliographical references (pages 34-35). |
|
|
|
|
|
| |