Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena
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| Titolo: |
Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena
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| Pubblicazione: | New York, : Published for the Society by the American Institute of Physics |
| Note periodicità: | Bimestrale |
| Disciplina: | 621.381/05 |
| ISSN: | 1071-1023 |
| Titolo abbreviato (Periodici): | J. VAC. SCI. TECHNOL., B, MICROELECTRON. NANOMETER |
| Titolo chiave (Periodici): | Journal of vacuum science & technology , B |
| Altri titoli varianti: | Microelectronics and nanometer structures |
| Journal of vacuum science and technology., Microelectronics and nanometer structures | |
| JVST B | |
| Titolo autorizzato: | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Periodico |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 990008995860403321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |
Continuazione di:
Journal of vacuum science & technology B: Microelectronics processing and phenomena
Altra ed. diverso supporto:
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