Record Nr.

UNINA990008995860403321

Titolo

Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena

Pubbl/distr/stampa


New York, : Published for the Society by the American Institute of Physics

ISSN

1071-1023

Disciplina

621.381/05

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Periodico