25th European Mask and Lithography Conference : 12-15 January 2009
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| Titolo: |
25th European Mask and Lithography Conference : 12-15 January 2009
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| Pubblicazione: | Frankfurt am Main, Germany : , : VDE, , 2011 |
| Descrizione fisica: | 1 online resource (135 pages) |
| Disciplina: | 621.3815 |
| Soggetto topico: | Microlithography |
| Integrated circuits - Masks | |
| Altri autori: |
BehringerUwe F. W
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| Titolo autorizzato: | 25th European Mask and Lithography Conference |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 996215980303316 |
| Lo trovi qui: | Univ. di Salerno |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |