1.
Record Nr.
UNISA996215980303316
Titolo
25th European Mask and Lithography Conference : 12-15 January 2009
Pubbl/distr/stampa
Frankfurt am Main, Germany : , : VDE, , 2011
Descrizione fisica
1 online resource (135 pages)
Altri autori (Persone)
BehringerUwe F. W
Disciplina
621.3815
Soggetti
Microlithography
Integrated circuits - Masks
Lingua di pubblicazione
Inglese
Formato
Materiale a stampa
Livello bibliografico
Monografia