Deposition and growth : limits for microelectronics, Anaheim, CA 1987 / editor G.W. Rubloff
(Visualizza in formato marc)
(Visualizza in BIBFRAME)
| Autore: |
Rubloff, G.W.
|
| Titolo: |
Deposition and growth : limits for microelectronics, Anaheim, CA 1987 / editor G.W. Rubloff
|
| Pubblicazione: | New York : American Institute of physics, 1988 |
| Descrizione fisica: | 388, [8] p. : ill. ; 25 cm |
| Disciplina: | 621.38152 |
| Soggetto topico: | Microelettronica - Semiconduttori - Tecnologia di crescita e deposizione |
| ISBN: | 0883183676 |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 991000158379707536 |
| Lo trovi qui: | Univ. del Salento |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |
Serie:
American institute of physics conference proceedings ; 167. American vacuum society series ; 4