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Titolo: | 2002 7th International Symposium on Plasma- and Process-Induced Damage : June 5-7, 2002, Maui, Hawaii, USA |
Pubblicazione: | [Place of publication not identified], : AVS, 2002 |
Disciplina: | 621.3815/2 |
Soggetto topico: | Semiconductor wafers - Effect of radiation on |
Semiconductors | |
Plasma radiation | |
Electrical & Computer Engineering | |
Engineering & Applied Sciences | |
Electrical Engineering | |
Persona (resp. second.): | GabrielCalvin T |
EriguchiKoji | |
HookTerence | |
Note generali: | Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph |
Titolo autorizzato: | 2002 7th International Symposium on Plasma- and Process-Induced Damage : June 5-7, 2002, Maui, Hawaii, USA |
Formato: | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione: | Inglese |
Record Nr.: | 9910872931603321 |
Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
Opac: | Controlla la disponibilità qui |