Journal of vacuum science & technology. B : Microelectronics and nanometer structures. Processing, measurement and phenomena / American Vacuum Society. - 1991-
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| Titolo: |
Journal of vacuum science & technology. B : Microelectronics and nanometer structures. Processing, measurement and phenomena / American Vacuum Society. - 1991-
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| Pubblicazione: | New York, 1991- |
| CDU: | CDU 62 |
| ISSN: | 1071-1023 |
| Altri autori (Enti): | American Vacuum Societyauthor |
| Note generali: | Pubblicato anche in formato elettronico. |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Periodico |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 991002667549707536 |
| Lo trovi qui: | Univ. del Salento |
| Localizzazioni e accesso elettronico | http://avspublications.org/jvstb/resource/1/jvtbd9 |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |