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Record Nr.
UNISALENTO991002667549707536
Titolo
Journal of vacuum science & technology. B : Microelectronics and nanometer structures. Processing, measurement and phenomena / American Vacuum Society. - 1991-
Pubbl/distr/stampa
New York, 1991-
ISSN
1071-1023
Altri autori (Enti)
American Vacuum Societyauthor
Lingua di pubblicazione
Inglese
Formato
Materiale a stampa
Livello bibliografico
Periodico
Note generali
Pubblicato anche in formato elettronico.