Microlithography world
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| Titolo: |
Microlithography world
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| Pubblicazione: | Port Washington, N.Y., : Penn Well Publication, published in cooperation with SPIE, [1992]-2008 |
| Descrizione fisica: | 1 online resource |
| Disciplina: | 621.3815/31 |
| Soggetto topico: | Semiconductors - Design and construction |
| Microlithography | |
| Masks (Electronics) | |
| Microlithografie | |
| Soggetto genere / forma: | Periodicals. |
| Note generali: | Title from cover. |
| Published: Tulsa, OK, Oct., Nov., Dec. 1993- | |
| Titolo abbreviato (Periodici): | MICROLITHOGR WORLD |
| Microlithogr. world | |
| Titolo autorizzato: | Microlithography world |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Periodico |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 996207138303316 |
| Lo trovi qui: | Univ. di Salerno |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |