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1. |
Record Nr. |
UNISA996207138303316 |
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Titolo |
Microlithography world |
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Pubbl/distr/stampa |
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Port Washington, N.Y., : Penn Well Publication, published in cooperation with SPIE, [1992]-2008 |
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Descrizione fisica |
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Disciplina |
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Soggetti |
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Semiconductors - Design and construction |
Microlithography |
Masks (Electronics) |
Microlithografie |
Periodicals. |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Periodico |
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Note generali |
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Title from cover. |
Published: Tulsa, OK, Oct., Nov., Dec. 1993- |
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