Measurement technology for micro-nanometer devices / / Wendong Zhang [and eight others]
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| Titolo: |
Measurement technology for micro-nanometer devices / / Wendong Zhang [and eight others]
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| Pubblicazione: | Singapore : , : Wiley : , : National Defense Industry Press, , 2017 |
| ©2017 | |
| Descrizione fisica: | 1 online resource (344 pages) |
| Disciplina: | 681/.2 |
| Soggetto topico: | Microtechnology - Measurement |
| Nanotechnology - Measurement | |
| Microelectromechanical systems - Testing | |
| Physical measurements | |
| Persona (resp. second.): | ZhangWendong |
| Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references at the end of each chapters and index. |
| Titolo autorizzato: | Measurement technology for micro-nanometer devices |
| ISBN: | 1-118-71797-X |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910830417603321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |