Record Nr.

UNINA9910830417603321

Titolo

Measurement technology for micro-nanometer devices / / Wendong Zhang [and eight others]

Pubbl/distr/stampa


Singapore : , : Wiley : , : National Defense Industry Press, , 2017
©2017

ISBN

1-118-71797-X

Descrizione fisica

1 online resource (344 pages)

Disciplina

681/.2

Soggetti

Microtechnology - Measurement

Nanotechnology - Measurement

Microelectromechanical systems - Testing

Physical measurements

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia

Nota di bibliografia

Includes bibliographical references at the end of each chapters and index.