1998 IEEE/Semi Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop
(Visualizza in formato marc)
(Visualizza in BIBFRAME)
| Titolo: |
1998 IEEE/Semi Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop
|
| Pubblicazione: | [Place of publication not identified], : IEEE, 1998 |
| Descrizione fisica: | 1 online resource (500 pages) : illustrations |
| Disciplina: | 670.42 |
| Soggetto topico: | Process control |
| Semiconductor industry | |
| Note generali: | Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph |
| Titolo autorizzato: | 1998 IEEE |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910872616003321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |