Record Nr.

UNINA9910872616003321

Titolo

1998 IEEE/Semi Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop

Pubbl/distr/stampa


[Place of publication not identified], : IEEE, 1998

Descrizione fisica

1 online resource (500 pages) : illustrations

Disciplina

670.42

Soggetti

Process control

Semiconductor industry

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia

Note generali

Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph