Hermetic encapsulation of nanoenergetic porous silicon wafer by parylene / / Eugene Zakar [and five others]
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| Autore: |
Zakar Eugene
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| Titolo: |
Hermetic encapsulation of nanoenergetic porous silicon wafer by parylene / / Eugene Zakar [and five others]
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| Pubblicazione: | Adelphi, MD : , : Army Research Laboratory, , August 2014 |
| Descrizione fisica: | 1 online resource (iv, 12 pages) : color illustrations |
| Soggetto topico: | Microencapsulation |
| Silicon polymers | |
| Integrated circuits | |
| Note generali: | Title from title screen (viewed Sept. 29, 2015). |
| "August 2014." | |
| Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references (page 11). |
| Titolo autorizzato: | Hermetic encapsulation of nanoenergetic porous silicon wafer by parylene |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910698635603321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |