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1. |
Record Nr. |
UNINA9910698635603321 |
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Autore |
Zakar Eugene |
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Titolo |
Hermetic encapsulation of nanoenergetic porous silicon wafer by parylene / / Eugene Zakar [and five others] |
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Pubbl/distr/stampa |
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Adelphi, MD : , : Army Research Laboratory, , August 2014 |
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Descrizione fisica |
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1 online resource (iv, 12 pages) : color illustrations |
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Collana |
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Soggetti |
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Microencapsulation |
Silicon polymers |
Integrated circuits |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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Note generali |
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Title from title screen (viewed Sept. 29, 2015). |
"August 2014." |
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Nota di bibliografia |
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Includes bibliographical references (page 11). |
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