半導体・MEMSのための超臨界流体

• Pubblicazione: 東京, : コロナ社, 2012.9; 東京 : , : コロナ社, , 2012
• Descrizione fisica: オンライン資料1件
• Soggetto topico: 半導体; マイクロマシン; 超臨界流体; マイクロエレクトロニクス
• Classificazione: 549.8; 431.8; 431.3
• Altri autori: 近藤英一 上野和良 内田寛 曽根正人 生津英夫 服部毅 堀照夫 森口誠
• Note generali: その他の著者: 内田寛, 曽根正人, 生津英夫, 服部毅, 掘照夫, 森口誠; 引用・参考文献: p[212]-222
• Altri titoli varianti: 半導体MEMSのための超臨海流体
• ISBN: 9784339108378; 4339108375; 9784339208375; 433920837X
• Formato: Materiale a stampa
• Livello bibliografico: Monografia
• Lingua di pubblicazione: Giapponese
• Record Nr.: 9910149131303321
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