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1. |
Record Nr. |
UNINA9910149131303321 |
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Titolo |
半導体・MEMSのための超臨界流体 |
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Pubbl/distr/stampa |
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東京, : コロナ社, 2012.9 |
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東京 : , : コロナ社, , 2012 |
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ISBN |
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9784339108378 |
4339108375 |
9784339208375 |
433920837X |
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Descrizione fisica |
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Classificazione |
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Altri autori (Persone) |
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近藤英一 |
上野和良 |
内田寛 |
曽根正人 |
生津英夫 |
服部毅 |
堀照夫 |
森口誠 |
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Soggetti |
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半導体 |
マイクロマシン |
超臨界流体 |
マイクロエレクトロニクス |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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Note generali |
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その他の著者: 内田寛, 曽根正人, 生津英夫, 服部毅, 掘照夫, 森口誠 |
引用・参考文献: p[212]-222 |
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