01801nam 2200601z 450 991014913130332120200806084138.0978433910837843391083759784339208375433920837X(CKB)3720000000050188(JP-MeL)3000017702(JP-MeKC)3000397132(EXLCZ)99372000000005018820211007d2012 ||| |jpnur|n||||un|||ncrcontentncrmediancrcarrier半導体・MEMSのための超臨界流体東京コロナ社2012.9東京 : コロナ社, 2012オンライン資料1件その他の著者: 内田寛, 曽根正人, 生津英夫, 服部毅, 掘照夫, 森口誠引用・参考文献: p[212]-2229784339008371 4339008370 半導体MEMSのための超臨海流体880-04/$1半導体jlabsh880-05/$1マイクロマシンjlabsh880-06/$1超臨界流体jlabsh880-07/$1マイクロエレクトロニクスndlsh半導体マイクロマシン超臨界流体マイクロエレクトロニクス549.8njb/09431.8njb/09431.3njb/09近藤 英一上野 和良内田 寛曽根 正人生津 英夫服部 毅堀 照夫森口 誠JP-MeLBOOK9910149131303321UNINA