14th Annual IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop
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| Titolo: |
14th Annual IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop
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| Pubblicazione: | [Place of publication not identified], : IEEE, 2003 |
| Descrizione fisica: | 1 online resource (330 pages) |
| Disciplina: | 670.42 |
| Soggetto topico: | Process control |
| Note generali: | Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph |
| Titolo autorizzato: | 14th Annual IEEE |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910872932203321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |