Record Nr.

UNINA9910872932203321

Titolo

14th Annual IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop

Pubbl/distr/stampa


[Place of publication not identified], : IEEE, 2003

Descrizione fisica

1 online resource (330 pages)

Disciplina

670.42

Soggetti

Process control

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia

Note generali

Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph