Advanced MEMS/NEMS fabrication and sensors / / Zhuoqing Yang, editor
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| Titolo: |
Advanced MEMS/NEMS fabrication and sensors / / Zhuoqing Yang, editor
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| Pubblicazione: | Cham, Switzerland : , : Springer, , [2022] |
| ©2022 | |
| Descrizione fisica: | 1 online resource (312 pages) |
| Disciplina: | 621.381 |
| Soggetto topico: | Microelectromechanical systems |
| Nanoelectromechanical systems | |
| Microfabrication | |
| Persona (resp. second.): | YangZhuoqing |
| Titolo autorizzato: | Advanced MEMS |
| ISBN: | 3-030-79749-X |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910522964803321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |