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1. |
Record Nr. |
UNINA9910522964803321 |
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Titolo |
Advanced MEMS/NEMS fabrication and sensors / / Zhuoqing Yang, editor |
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Pubbl/distr/stampa |
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Cham, Switzerland : , : Springer, , [2022] |
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©2022 |
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ISBN |
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Descrizione fisica |
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1 online resource (312 pages) |
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Disciplina |
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Soggetti |
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Microelectromechanical systems |
Nanoelectromechanical systems |
Microfabrication |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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