Interlaboratory study on linewidth measurements for antireflective chromium photomasks / / John M. Jerke, M. Carroll Croarkin, Ruth N. Varner
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| Autore: |
Jerke John M
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| Titolo: |
Interlaboratory study on linewidth measurements for antireflective chromium photomasks / / John M. Jerke, M. Carroll Croarkin, Ruth N. Varner
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| Pubblicazione: | Gaithersburg, MD : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , 1982 |
| Descrizione fisica: | 1 online resource |
| Altri autori: |
CroarkinM. Carroll
JerkeJohn M
VarnerRuth N
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| Note generali: | 1982. |
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| Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references. |
| Titolo autorizzato: | Interlaboratory study on linewidth measurements for antireflective chromium photomasks |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910709504903321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |