Thermal characterization of thin films for MEMS applications [[electronic resource] /] / by David J. Howe and Brian Morgan
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| Autore: |
Howe David J
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| Titolo: |
Thermal characterization of thin films for MEMS applications [[electronic resource] /] / by David J. Howe and Brian Morgan
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| Pubblicazione: | Adelphi, Md. : , : Army Research Laboratory, , [2008] |
| Descrizione fisica: | iv, 14 pages : digital, PDF file |
| Soggetto topico: | Microelectromechanical systems |
| Altri autori: |
MorganBrian
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| Note generali: | Title from title screen (viewed on May 26, 2009). |
| "February 2008." | |
| Altri titoli varianti: | Thermal characterization of thin films for microelectromechanical systems applications |
| Titolo autorizzato: | Thermal characterization of thin films for MEMS applications |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910698177003321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |