Fabrication of 3D silicon-based photonic crystal structure with "single" self aligned etching process / / Gerard Dang, Monica Taysing-Lara, and Weimin Zhou
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| Autore: |
Dang Gerard
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| Titolo: |
Fabrication of 3D silicon-based photonic crystal structure with "single" self aligned etching process / / Gerard Dang, Monica Taysing-Lara, and Weimin Zhou
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| Pubblicazione: | Adelphi, MD : , : Army Research Laboratory, , September 2010 |
| Descrizione fisica: | 1 online resource (iv, 8 pages) : color illustrations |
| Soggetto topico: | Photonic crystals |
| Nanostructured materials | |
| Persona (resp. second.): | Taysing-LaraMonica |
| ZhouWeimin (Physicist) | |
| Titolo autorizzato: | Fabrication of 3D silicon-based photonic crystal structure with "single" self aligned etching process |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910701449303321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |