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Titolo: |
CMP Technology : International Conference on Planarization : 25-27 October 2007
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Pubblicazione: | Frankfurt am Main, Germany : , : VDE, , 2011 |
Descrizione fisica: | 1 online resource (493 pages) |
Disciplina: | 621.92 |
Soggetto topico: | Grinding and polishing |
Titolo autorizzato: | CMP Technology ![]() |
Formato: | Materiale a stampa ![]() |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione: | Inglese |
Record Nr.: | 996215978403316 |
Lo trovi qui: | Univ. di Salerno |
Opac: | Controlla la disponibilità qui |