1.
Record Nr.
UNISA996215978403316
Titolo
CMP Technology : International Conference on Planarization : 25-27 October 2007
Pubbl/distr/stampa
Frankfurt am Main, Germany : , : VDE, , 2011
Descrizione fisica
1 online resource (493 pages)
Disciplina
621.92
Soggetti
Grinding and polishing
Lingua di pubblicazione
Inglese
Formato
Materiale a stampa
Livello bibliografico
Monografia