Measurement assurance for dimensional measurements on integrated-circuit photomasks / / Carroll. Croarkin
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| Autore: |
Croarkin Carroll
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| Titolo: |
Measurement assurance for dimensional measurements on integrated-circuit photomasks / / Carroll. Croarkin
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| Pubblicazione: | Gaithersburg, MD : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , 1982 |
| Descrizione fisica: | 1 online resource |
| Soggetto topico: | Integrated circuits - Masks - Measurement |
| Optical instruments - Calibration | |
| Altri autori: | CroarkinCarroll |
| Note generali: | 1982. |
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| Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references. |
| Titolo autorizzato: | Measurement assurance for dimensional measurements on integrated-circuit photomasks |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910711225803321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |