MEMS mechanical sensors / / Stephen Beeby [and others]
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| Titolo: |
MEMS mechanical sensors / / Stephen Beeby [and others]
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| Pubblicazione: | Boston : , : Artech House, , ©2004 |
| [Piscataqay, New Jersey] : , : IEEE Xplore, , [2004] | |
| Descrizione fisica: | 1 online resource (280 p.) |
| Disciplina: | 681/.2 |
| Soggetto topico: | Microelectromechanical systems |
| Detectors | |
| Altri autori: |
BeebyStephen
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| Note generali: | Description based upon print version of record. |
| Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references and index. |
| Nota di contenuto: | Machine generated contents note: Ch. 1 Introduction -- Ch. 2 Materials and fabrication techniques -- Ch. 3 MEMS simulation and design tools -- Ch. 4 Mechanical sensor packaging -- Ch. 5 |
| Sommario/riassunto: | Annotation |
| Titolo autorizzato: | MEMS mechanical sensors |
| ISBN: | 1-58053-873-8 |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910783464203321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |
Serie:
Microelectromechanical systems series.