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1. |
Record Nr. |
UNINA9910783464203321 |
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Titolo |
MEMS mechanical sensors / / Stephen Beeby [and others] |
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Pubbl/distr/stampa |
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Boston : , : Artech House, , ©2004 |
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[Piscataqay, New Jersey] : , : IEEE Xplore, , [2004] |
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ISBN |
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Descrizione fisica |
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1 online resource (280 p.) |
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Collana |
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Artech House microelectromechanical systems (MEMS) series |
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Altri autori (Persone) |
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Disciplina |
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Soggetti |
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Microelectromechanical systems |
Detectors |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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Note generali |
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Description based upon print version of record. |
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Nota di bibliografia |
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Includes bibliographical references and index. |
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Nota di contenuto |
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Machine generated contents note: Ch. 1 Introduction -- Ch. 2 Materials and fabrication techniques -- Ch. 3 MEMS simulation and design tools -- Ch. 4 Mechanical sensor packaging -- Ch. 5 |
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Sommario/riassunto |
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