Semiconductor fabrication : technology and metrology
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| Titolo: |
Semiconductor fabrication : technology and metrology
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| Pubblicazione: | [Place of publication not identified], : ASTM, 1989 |
| Disciplina: | 621.381/52 |
| Soggetto topico: | Semiconductors - Congresses - Design and construction |
| Electrical & Computer Engineering | |
| Engineering & Applied Sciences | |
| Electrical Engineering | |
| Persona (resp. second.): | GuptaD. C |
| Note generali: | Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph |
| Altri titoli varianti: | Semiconductor Fabrication |
| Titolo autorizzato: | Semiconductor fabrication : technology and metrology |
| ISBN: | 0-8031-5107-1 |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910164688903321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |